Již po schválení plánu radiačním onkologem je pacientovi rezervován termín k ozáření. Od provedení CT k ozáření uběhne průměrně 10 dní. Výrazně krátký čekací interval zaručuje jistotu v neměnnosti anatomie pacienta (příbytek, úbytek váhy apd.) nebo výrazné progresi ve velikosti tumoru. Zohlednění těchto aspektů je klíčové v přesném doručení stereotaktické dávky záření.

Pacient ulehá na robotický stůl v poloze, ve které mu byly vytvořeny anatomické a funkční snímky. Radiologický asistent, který provází pacienta od vstupního CT a je zodpovědný za doručení dávky a kontrolu pacienta během ozařovací frakce, provádí před spuštěním záření základní RTG snímky. Na základě porovnání těchto snímků s ozařovacím plánem je pozice pacienta upravena pomocí pohybu robotického stolu ve 6 stupních volnosti tak, aby ozáření proběhlo přesně podle připraveného plánu. Po spuštění ozáření je pacient periodicky kontrolován pomocí rentgenových snímků a případné nové odchylky pozice od plánu jsou kompenzovány v reálném čase pomocí robotického ramena lineárního urychlovače.

Software pro doručení dávky disponuje mnoha verifikačními parametry, které sledují pacienta a jeho pohyby během záření. Radiologický asistent může navíc komunikovat s pacientem během záření a sledovat ho kamerovým systémem.

Průměrná doba doručení jedné frakce záření pro oblast hlavy a krku činí 30 minut. Celkový počet ozáření je individuální. Pacient obvykle dochází k ozáření v 1 - 5 dnech.